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    • 光學儀器及設備

    納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800

    • 型號 VS1800
    • 產地 日本
    • 樣本 暫無
    • 品牌日立

    核心參數

    • 儀器種類 超高速激光共聚焦顯微成像系統
    • 產地類別 進口儀器

    天美(中國)科學儀器有限公司

    • 營業執照已審核
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    納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800 產品介紹 用戶評論

    產品介紹

    產品介紹:

    納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800應用光干涉現象,對微細的表面形貌進行測量,可實現高性能薄膜、半導體、汽車零配件、顯示器等行業所要求的高精度測量。而且還能以無損傷方式進行多層膜的層結構以及層內部的異物測量。

     

     

    主要特點:

    n  采用光干涉方式,非接觸測量

    n  3D測量支持線粗糙度和面粗糙度測量

    n  自動粗糙度參數選擇(ISO25178

    n  毫米級大面積測量

    n  高精度測量(垂直方向分辨率0.01nm

    n  快速、高重復性測量

    n  多層薄膜和薄膜內層缺陷分析

     

    照明系統

    鹵素光源,波長530nm

    相機

    標準相機(640x480像素),高像素相機可選(1024x1024像素)

    物鏡

    2.5x5x10x20x50x110x可選

    顯微鏡控制

    Z軸馬達控制

    樣品臺

    Type1Tpye2Type3

    減震臺

    被動式減震臺,主動式減震臺可選

    掃描器

    機械馬達掃描器,壓電陶瓷掃描器可選

    測量軟件

    VS-MeasureVS-Viewer

     


    天美(中國)科學儀器有限公司

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